SEMICONDUCTOR/DISPLAY/BATTERY

SOLUTIONS

SEMICONDUCTOR/DISPLAY/BATTERY

SEMICONDUCTOR/DISPLAY/BATTERY

최근 반도체 제조, 우주항공, 전자, 배터리, 정밀산업 등의 발전으로 인해
제품의 정밀화, 미세화, 고품질화 및 고신뢰성이 요구되고 있다.
전자공업, 필름공장 또는 정밀 기계공장 등에서는 실내 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되어
제품의 불량을 초래하고, 사용 목적에 적합한 제품생산에 저해요소가 되어 제품의 신뢰성과 수율(생산원가)에
막대한 영향을 미치므로 공장전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서는 필요에 대응하는 청정한 상태가 유지되도록 하여야 한다.

HEPA FILTER : 0.3㎛, 99.97% (H13~H14)

ULPA FILTER : 0.1㎛, 99.99% (U15~U17)